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真空泵的测量方式

发布时间：2014-9-25 标签：真空泵

　　真空泵的测量方式：

真空泵

　　1.热偶真空计
　　利用热电偶的电势与加热元件的温度有关，元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。
　　2.电离真空计
　　由筒状收集极，栅网和位于栅网中心的灯丝构成，筒状收集极在栅网外面。热阴极发射电子电离气体分子，离子被收集极收集，根据收集的离子流大小来测量气体压强的真空计。
　　3.复合真空计
　　由热偶真空计与热阴极电离真空计组成，测量范围从大气~10-5Pa。
　　4.冷阴极电离计
　　阳极筒的两端有一对阴极板，在外加磁场作用，阳极筒内形成潘宁放电产生离子，根据阴极板收集的离子流的大小来测定气体压强的真空计。
　　5.电阻真空计
　　利用加热元件的电阻与温度有关，元件的温度又与气体传导有关的原理，通过电桥电路来测量真空度的真空计。
　　6.麦克劳真空计
　　也成为压缩式真空计，将待测的气体用汞压缩到一极小体积，然后比较开管和闭管的液柱差，利用玻义尔定律直接算出气体压强的一种绝对真空计。
　　7.电容薄膜真空计
　　这是一种阴极与收集极倒置的热阴极电离规。收集极是一根细丝，放在栅网中心，灯丝放在栅网外面，因而减少软X射线影响，延伸测量下限，可测超高真空。

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