真空泵机组的真空系统是它的主要工作部件，避免真空系统不受污染，是很有必要的。

　　1、真空泵机组要选用带有气镇装置的油封机械泵。

　　2、装油分别器、离心式分别器或油水分别器，将混有水的机械泵油中止处置，处置过的油再流入泵中运用。

　　3、运用液氮冷阱，不只能有效地吸附水蒸气，同时还可以阻挠机械泵油向高真空室返流。

　　4、运用吸水性强的单调剂。

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