由于电真空结构材料除机械性能和加工性能外，还要满足其它性能的要求:容易除气、低的饱和蒸气压、一定的化学稳定性、一定的纯度和清洁度，要有合适的辐射能力、温度性质和光学性质等。所以电真空工艺具有特殊性，对清洁处理要求是严格的，应最大限度清除或减少零件的污染。
电子管的生产、管子的装架和零件处理必须在封闭良好的房间里进行。房间里的墙壁和天花板都用高质量的半光泽的韧性油漆涂覆。地面用干净且打上蜡的沥青合成物或磨砂瓷砖铺盖。空气必须经过两级或多级过滤。相对湿度保持在50%以下。
在进行精密装架的房间里，人员往来应尽可能少。零件和其它用品通过滑动橱门送人。精密装架的房间与空调的大房间隔开。里屋的空气要进一步过滤。除空调器和过滤器开口外，墙壁、地板、天花板以及门必须尽可能封闭严实。墙上灰泥、建筑板、木板以及水泥等建筑材料都均匀地涂上光泽的或半光泽的高级油漆。
对于有特殊要求的工作，要用干燥箱来防止用其它方法未能阻挡的沾污物(操作者的呼吸物、头皮等)。当需要时，如在处理待激活的阴极表面时，干燥箱也只能使用特定的惰性气体。
为适合集成电路工艺生产的需要，生产车间应达到相应的洁净室等级标准。
