一、扩散泵系列真空机组概述：
扩散泵系列真空机组以罗茨旋片机组作为预抽，扩散泵主体及挡板均有改进，使得在较低真空领域抽速有较大成度增加。它以油扩散泵为主泵和阀门、水冷挡板、管道、机械真空泵（前级泵）等组成高真空抽气系统，可获得（10-2—10-4Pa）的工作真空度。扩散泵系列真空机组可作为真空冶炼、真空烧结、真空热处理、真空镀膜、真空钎焊、真空浸渍、太空模拟试验装置等高科技设备的高真空获得装置，以及其它需要在10-1 --10-4帕的低气压(高真空)环境下工作的真空系统的配套设备。
扩散泵系列真空机组的特点是抽气能力大，抽速从190L/S至49000L/S范围内可供选择；并可长时间稳定连续工作。扩散泵系列真空机组被广泛地应用在电子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物医药、原子能、宇宙探测等高科技领域。如各种真空炉、真空镀膜设备、真空冷冻干燥设备等。典型真空机组是用气动阀门程序控制。如需其他驱动方法，请在订货时注明。 |
