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真空泵的参数及分类



抽气原理的选择或所用真空泵的选择受特定参数的限制。这些参数主要是:最低压强、压强范围、抽速、排气压强。在超高真空范围内,还要加上另外两个参数:泵的选择性及残余气体的成分。

排气压强是泵在这一压强下可以进行排气的压强。根据这个观点,真空泵可大致分为三类:

1)往大气中排气的泵。这种泵一般称为粗抽泵或前级泵。把系统中空气抽除到某一需要的工作压强称为对该系统粗抽。在另一泵的出口处保持的一个所需的低压强称为前级压强。机械旋转泵和喷射泵就是典型的粗抽泵或前级泵。

2)只往低于大气压的环境中排气的泵。这种泵需要一个前级泵(申联)向大气中排气。扩散泵、罗茨泵及分子泵均属于这种类型。它们都需要一个前级泵。

3)可束缚住系统中的气体和蒸汽的泵。这种泵不需要出气口,是根据电离或吸着原理制成的。

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