极限真空是罗茨真空泵的重要参数之一，其含义是在严密封闭泵的入口时，经较长时间运转所能达到的最高真空度。因常用压力表示，故又称极限压力。从特性曲线中可以看出，当罗茨真空泵达到极限真空时，通过泵入口的正向气流量为零，即泵的实际抽速为零。如果与前级真空串联工作，由于气流连续性，此时前级泵也同时达到极限真空。
罗茨真空泵在作为机械增压泵使用时，其极限真空与前级真空泵有关，选择不同的前级泵可以获得不同的极限真空。用水环真空泵作前级泵时，单级罗茨真空泵的极限真空为1Torr左右，双级罗茨真空泵可达2*10-2Torr,用滑阀真空泵作前级泵时，单级罗茨真空泵的极限真空为5*10-4Torr,双级罗茨真空泵可达到1*10-5Torr。
直排大气的湿式罗茨真空泵的极限真空不高，一般约为60~40Torr，其真空度高低与泵制造的质量有关。不过这种罗茨真空泵常常是用在抽粗真空的场合，所要求的真空度比极限真空低得多，因此这种泵的极限真空对使用来说意义不大。
在试验罗茨真空泵的极限真空时，按照部颁标准规定一般要求开动10~20min以达到极限真空，同时还要注意泵的湿度应保持正常。新出厂的罗茨真空泵达到极限压强的时间可能更长一些，因为零件上可能有易挥发的清洗液，或因泵的润滑油吸收了水份和气体，需要一定的时间才能充分挥发。最好能试验二、三次，以便加以比较。
