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2X-150F型泵:图1是2X-150F型旋片式真空泵中最大的泵之结构图。前面举的小泵均采用双级串联方式。工作时,只高真空级泵承担全部抽气作用。当初始抽气时,高真空级排气的压力能够打开排气阀片,气体排出一部分,另一部分由低真空级阀片排出。此时低真空级只相当于输气通道。对于大泵来讲,低真空级不承担排气是种浪费,故2X-150F采用并串联结构,在泵的两级通道之间加一个手动变换阀,使前后两级可并联亦可串联进行排气。
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图1,a, b是该泵高、低真空级泵腔剖面图。
图1 2X-150F结构图 |
在提高容积利用系数上,为使旋片在转子槽中含量不致过少,采用凸凹衔接(见图2),这样,不仅使每个旋片重量减少2公斤,且使泵腔压力减少,磨损小,提高了转数和寿命。 |
图2 2X-150F旋片结构图
1.这些面铸后不加工; 2.导向面 |
整机取消了公共底盘。高真空级定子腔直径φ280毫米,转子直径φ210毫米,定子长420毫米,旋片厚15毫米。低真空级定子直径φ190毫米,转子直径φ145毫米,定子长90毫米,旋片厚12毫米。压缩比取1:10, K取0.88和0.9,几何抽速Sn分别为142.56升/秒和14升/秒。极限压强:串联为2.8x10-4托,并联为1.2x10-2托。 |
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