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油扩散泵的用途



玻璃油扩散泵目前广泛用于试验室的真空设备、长排车和一些生产设备上。由于玻璃系统具有透明、便于观察内部情况,容易检漏、补漏,制做方便,价格便宜,吸放气少且易于除气等优点,因此尽管它容易破碎,玻璃壁易于渗氦,体积不能做得很大因而抽速不能很大,但仍在中小抽速范围内大量使用着。

我国玻璃油扩散泵的生产厂主要是武汉玻璃厂和上海玻璃厂。以武汉玻璃厂生产的玻璃油扩散泵为例。玻璃油扩散泵的一种改进扩散增压泵:尽管玻璃油扩散泵已发明多年,但为了扩大使用仍需不断改进。改进的方向大致是在提高其极限真空度和增大抽气范围等方面。

例如真空冶炼、半导体提纯、特种电真空器件和电光源的排气都要求在10-2~10-5托之间迅速排除大量气体,实验室为创造无噪声、无振动的环境需要长时间内停止机械泵的工作,这些都提出了需要极限真空度高、排气量大和前级耐压高的排气设备等特殊要求。而任何单独的油增压泵或油扩散泵,是很难同时满足上述要求的。油扩散增压泵就能承担这一任务。

玻璃超高真空油扩散增压泵,在原超高真空扩散泵的基础上,采取改进扩压器出口管道直径,改变水冷方法,增大油锅面积,增加二、三级喷嘴扩散面积,使用双层水冷帽,并使用275硅油等措施,其极限真空度可抽到5x10-10托,达到普通扩散泵水平。PY-4型泵就是一例,工作范围扩宽到10-1~10-10托之间,能在1x10-3托到5x10-9托达满抽速,这样使用就方便了。它可直接与机械泵串联使用,抽速150~200升/秒;在1x10-3托时的最大前级耐压达1.2托,这在玻璃油扩散泵的改进方面是个可喜的努力。

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