现将金属阀门的具体结构举例如下:
1.直通式真空球阀:它常被用作真空系统的前级阀和放气阀，公称通径70-300厘米。在球体中间穿洞的这种阀，它的材料是青铜、铝合金等。加工时球体椭圆度为±0.02厘米，外径偏差±0.1厘米，表面▽7。球阀密封材料是丁腈、氯丁、特氟隆和硅橡胶之类，也可用金属密封。生产产品有手动和气动两种。
球阀比挡板阀、翻板阀结构简单，通导能力大，使用寿命长，比蝶阀使用可靠，成本低。
2.气动闸阀:这种阀是靠气缸开闭的。
3.插板式超高真空阀门:其型号为CF-200,它被用作系统的主阀门。该阀门用于隔离离子泵和真空容器的通径是200毫米。阀盖和法兰用氟橡胶密封，阀门其余零件均用不锈钢制成。
4.三通超高真空阀:型号为CF-40，可作为系统的管道阀门。用于隔离真空容器和前级泵.
5.二通高真空阀门:型号为GF-40,阀门通径40毫米，喉径25毫米,阀盖用氟橡胶圈密封。阀门其余零件均用不锈钢制成。
6.放气阀:型号为ZF-0.4，用于真空系统放气。用氟橡胶密封、耐烘烤温度<200℃,漏气率<1 ×10-5托·升/秒。
7.微调真空阀:
微调真空阀在真空设备上用处很多，一般多作高真空微量放气、充气、均压等用。 |
