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真空镀铝设备中的真空镀膜机



英国某公司生产的真空镀膜机有如下特点:

真空室内分为上下两室,上面卷绕室真空度为5x10-2Torr,下面蒸发室真空度为1x10-3~2x10-4Torr,两室之间是隔板,隔板与中间冷辊之间间隙十分重要,间隙值取1.5mm,即可以很好的维持上下两室压力差,减少漏气量。

四台直流电机驱动卷绕系统,特别当生产5um以下薄膜时,张力控制比较准确,张力精度1%,最大张力55kg,最小张力5.5kg。

良好的真空镀铝条件,要有稳定的蒸发液面和较低的铝的蒸发温度,当蒸发率不变时(g/min),蒸发皿温度和蒸发面积成反比,使用大蒸发皿,不但皿数可以减少,而且温度也能降低。这时减少铝液喷溅,对基料不易变形有利。

沉积在基料上的铝只占铝蒸发总量的30%,而70%的铝散射在蒸发室内部表面上,污染了机器,为了便于清理残铝,镀铝的真空室设计成可两面开出,一个工作周期完毕后,一面开出上部卷绕机构卸卷,另一面是下面蒸发机构开出清理蒸发室。

冷却辊采用乙二醇作冷却循环介质,温度为一30t^-20℃。

真空镀膜机内,为捕集在真空过程中基料挥发的水蒸汽应使液氮致冷,这种致冷方法可以在12min内,温度下降至-196℃;。抽真空时间愈少,真空度愈稳定,且液氮耗量每小时50L。

泵组有三种泵,其中抽气量为47000L/s的油扩散泵一台,抽气量为850Om3/h的罗茨泵三台,抽气量为1800m3/h的机械增压泵二台,抽气量为5lOm3/h的旋转泵二台,抽真空时间10~l5min。

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