当电子通过真空容器中的稀薄气体时，就会和气体分子碰撞.当电子能量小时，碰撞后只改变两者的运动速度和方向。当电子具有足够大的能量，大于气体电离电位时，电子高速运动和气体分子碰撞，使气体分子电离，所产生的正离子数与气体的密度成正比.而压强p=nKT在某一温度下，n和p成正比。如能测量电离产生离子流的大小，就可接地测量了真空度。
电离真空计就是根据这个原理制成的。如果高速电子是由加热阴极发射出来，就称为热阴极电离真空计.
热阴极电离计测量电路由以下三部分组成。
①离子流放大器。
②发射电流稳定器。
③电压稳定器，以保持规管参数的稳定。
热阴极电离计的特点是:可测气体和蒸气压强能远距离连续测量，真空度愈高，灵敏度愈
高。但读数与气体种类有关，阴极在测量压强低于10-3Pa时易烧毁。
为了使用方便，目前有复合真空计，它将热偶计和电离计测量部分组装在一起，但使用时
仍是各自独立。
