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增压泵(罗茨泵)在真空电子束焊机的应用



在真空电子束焊机中,真空系统还常采用罗茨泵作为增压泵进行差级抽气。罗茨泵是一种双转子容积分子抽气机,除了容积作用外,还应用了分子抽气机的工作原理。

在高的压力下,由于气体的平均自由路径比间隙小,排出的气体会大量地返回,所以真空泵不能很好地工作,为使这种真空泵能够正常工作,一般用旋片式机械泵作为前置真空泵。

当前置泵出口处的压力降到100Pa左右时,罗茨泵开始工作,其最大抽气速率出现在1.33Pa时,这时气体的平均自由路径显著地超过了间隙的宽度,大大增加了返回气体的流阻,而且它的进气压力与出口的前置真空压力成直线关系。

罗茨泵在1.33×10-2~1.33Pa压力范围内有很高的抽速,可达40000L/S,能迅速排出突然放出的气体。在这一压力范围内旋转式机械泵的抽速已经很小了,而油扩散泵则刚刚开始工作,因此这两种泵在抽气速率上的脱节,可在其问加一级罗茨真空泵来解决,因此又称它为增压泵。

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