1、隔膜阀
图1所示为隔膜式真空阀。隔膜阀适用于真空系统的接通或截止，它是利用阀杆将弹性体薄膜紧压在阀座上来隔断气路。橡皮弹性薄膜上有一提钮。提起提钮，通道接通。反之压紧就截止.如转动手轮可带动阀杆上、下移动，使隔膜离开阀座打开阀门或使隔膜紧压在阀座上关闭阀门。此种阀门如采用丁睛橡胶隔膜，适用于前级和预抽管道上及温度为-25~80℃的非腐蚀性气体。如采用氟橡胶隔膜，可用于高真空系统，使用温度范围为-30-1501℃。
2、真空球阀
图2所示是真空球阀的结构，该阀中的密封机构是山两个环状弹性体紧压于一个金属球表面构成。金属球上有一个大穿孔，借助于手柄转动金属球使穿孔改变方向，即可接通或切断气路。金属球轴杆与阀体间的密封采用0形密封圈密封。
3、真空蝶阀
蝶阀的结构比较简单，如图3所示。阀板的边缘上嵌有U形密封圈，阀板靠螺栓固定在传动轴阀杆上，使阀杆带动阀板转动，当阀板上的密封圈与阀体紧密接触时即实现了阀门的关闭。从关闭位皿始，阀板再转动90℃时，阀门即完全打开.该种阀门的主要优点是体积小结构简单。 |
