超高真空机组工作在10-6~10-10Pa超高真空压力范围，除了要求真空室的材料出气率很低、漏气率很小、能经受200~450℃高温烘烤外，对机组的要求还有:
(1)主泵的极限真空要高.至少在10-7~10-8Pa以上;
(2)在超高真空的工作压力范围内主泵具有一定的抽速;
(3)机组的主泵或主泵进气口以上部分能承受200-450℃的高温烘烤。
(4)来自主泵的返流气体(包括工作液蒸气及解析的气体)的分压力要足够低。
(5)对被抽气体选择性强的主泵，要配备足够大的辅助泵;
(6)机组主泵进气口以上的管道、阀门等部件，材料的选择和密封要特别慎重。一般采用出气率较低的不锈钢和采用金属密封材料，以耐高温烘烤。
