真空系统启动时，要先用机械泵将系统抽至低真空，再接通扩散泵冷凝水.然后逐渐加热使油沸腾并正常回流后再启动油扩散泵。关闭油扩散泵时.需先切断加热器电源，待油停止沸腾后再关冷凝水，再关闭扩散泵前后两个活塞，接着将机械泵的抽气日通大气后才能停机械泵.通常在机械泵和油扩散泵之前安一冷阱，以免有机物、水汽等杂质进入机械泵，影响泵的工作性能。冷阱的冷却荆可按需要选用干冰、液氮等。
对玻璃真空系统的检漏，使用高频火花真空检漏仪较方便。它是利用低压强气体在高频电场中，发生感应放电时所产生的不同颜色，来大致估计真空度量级，以判断系统是否漏气。实际检漏过程如下，启动机械泵数分钟后，系统的真空度可达1.333~13.33Pa。
