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真空泵中真空材料的选材原则



对真空容器壳体及内部零件材抖的要求

真空泵有足够的机械强度和刚度来保证壳体能承受住室温和烘烤温度下的大气压力,并且在加热烘烤(特别是对超高真空系统) 时不发生变形。

②气密性好。要保持一个完好的真空环境,器壁材料不应存在多孔结构、裂纹或形成渗漏的其他缺陷。有较低的渗透速率和出气速率。

③在工作温度和烘烤温度下的饱和蒸气压要足够低(对超高真空系统来说尤其重要)。

④化学稳定性好。不易氧化和腐蚀,不与真空泵中的工作介质及工艺过程中的放气发生化学反应。

⑤热稳定性好。在系统的工作温度(高温与低温)范围内,保持良好的真空性能和机械性能。

⑥在工作真空度及工作温度下,真空容器内部器件应保持良好的工作性能,满足作业工艺的要求。

⑦有较好的延展性、机械加工性能和焊接性能,容易加工成复杂形状的壳体。

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