真空热处理工艺的发展，是与设备的发展分不开的，提高设备技术水平以适应工艺要求，往往又与配套件技术的发展密切相关。

真空泵的发展

在1873年发明白炽灯泡前，主要是用活塞式抽气机获得真空，但只能达到0.25乇的真空度。随后电子管制造技术要求更高的真空度，就促进了真空技术的发展，因而相继出现了各种真空泵:旋转水银泵(1905年)，油封旋转泵(1907年)、分子泵(1913年)和扩散泵(1915年)。其中扩散泵的发明、使真空技术进入高真空度(10-8毛左右)的阶段。随着近代科学技术的发展，例如加速器、热核反应装置，大型真空护等，都要求能在大容积的空间建立必要的真空度。因此，到了60年代初期,扩散泵的排气速度已达到了数万升/秒的能力。

但是，就真空热处理所需的真空度而言，一般达到1x10-2~1x10-4乇就足够了，只在特殊情况下，才用1x10-5~1X10-6乇的真空度。所以真空热处理炉常用的真空泵，是由机械泵和油蒸发扩散泵所组成。