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机械泵(真空泵)串联扩散泵的高真空系统

肯定有人会问,何为机械泵?不管是机械泵还是扩散泵都属于真空泵,一般机械泵达到的真空泵较低,在10-4乇左右,而扩散泵的真空度较高,在10-8乇左右,扩散泵需要机械泵作为前级泵,以达到更高的真空度,就像水环真空泵罗茨真空泵组成罗茨水环真空机组一样,只是真空度的不同而已,一般抽取储存液氧的氧气瓶里面夹层的真空需要这种很高的真空机组。

关于真空度的测量,用热偶计(或高压强电离计)测中真空,用电离计测高真空。有一种玻璃高真空系统。其特点是玻璃系统制造方便、内部清洁,适合于小型科研实脸。为避免机械泵振动的影响,机械泵与双通活栓之间采用橡皮管连接。被排容器接在台面上部,并用烘箱盖住烘烤。双通活栓的接法,应使机械泵或通扩散泵、或通大气。这样,当系统使用完毕时,将活栓通向大气,防止机械泵返油;同时扩散泵得以保持真空。有些系统需要真空度较高,可在扩散泵上加液氮冷阱。抽气泵用机械泵和金属扩散泵,真空度测量用热偶计和电离计。与玻璃系统不同之处在于:

1)由于真空室较大,如预抽时气体也要通过扩散泵再到机械泵,将因路程长而需要较多时

间,需设置一预抽阀,使真空室可由此阀直接通机械泵。预抽时,开启此阀将真空室抽气,达到预抽要求后,将此阀关闭;

2)扩散泵较大,返油较严重,通常需要加挡板,如要求更高真空,则可加液氮冷阱;

3)有前置真空容器起前级压强稳定作用;

4)采用电磁阀,遇到突然停电时自动将真空系统封闭。

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