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真空技术的应用及真空系统的组成部分

真空技术广泛应用于各种工艺过程,如真空冶炼炉、RH真空处理、真空喷涂、真空蒸馏、真空浓缩、真空焊接、真空浇铸、真空镀膜、真空表面处理、真空阴极射线管、真空干燥、真空灭菌、食品包装、太阳能的开发和利用、粒子加速器、受控核聚变以及航天等等。用来获得并测量有特定要求的真空度的抽气系统称为真空系统。

应用于各种不同工艺过程的真空系统,种类繁多,主要分为两类。一是动态真空系统,这种系统依靠真空获得设备的连续运行,不断地排出进入系统的气体来获得稳定的真空.系统内有气体流动,各处压力有所不同。二是静态真空系统.它没有任何与外界贯通点,真空建立后不要真空泵就可以长时间维持不变,系统内压力处处相等.。

真空系统由真空设备本体(如真空炉、真空容器等)、真空泵、冷阱、真空导管、阀门、真空计、波纹管和过滤器等组成。

真空泵是真空系统的心脏,工业上一般使用机械式真空泵、增压泵和扩散泵。机械泵包括旋片真空泵、定片泵、滑阀泵、水环真空泵、螺杆泵等,可单独作为低真空系统的主泵.也可作为高真空系统的前置泵。扩散泵工作压力在1.3x10-1~6.7x104Pa(无冷阱)和1.3x10-5~1.3x10-7Pa(有冷阱)的.可以作为高真空系统的主泵.运行时必须配有前置泵。机械泵在1pa以下工作性能很差.为了更好地与扩散泵配合,在机械泵和扩散泵之间可设置增压泵.增压泵可以选用罗茨泵和油增压泵等。对于超高和极高真空系统,有分子泵、吸气泵、钦泵和低温泵等可供选择。

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