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真空泵有几大类

实验室通常使用真空泵(Vacuum pump)来产生真空。由于从粗真空到极高真空压力跨度高达十几个数量级(Pa),所以,实验上要求不同的真空度时需要选择不同种类的真空泵。要获得高真空或超高真空,一般需用几种泵的联合组合使用才能达到。

真空泵按获得真空的机理和方式可分为压缩型的真空泵和吸附型真空泵两大类。压缩型泵(Compression pump) ,是将气体由特定容器压缩,然后排放至容器外。如水冲泵、机械泵、扩散泵、分子泵等。另一类是吸附型泵(Sorption pump) ,是依靠将特定空间的气体分子吸附方式来降低压力以获得真空度。如钛泵、低温泵、吸附泵等。

机械泵和扩散泵价格低廉、抽气速率很高,是实验室最常用的真空泵,但它们都要用特种油作为工作物质,因而对实验对象有一定的污染。机械泵只能产生1~10-1Pa的低真空。扩散泵使用时必须用机械泵作为前级泵,可获得10-1~10-7Pa的高真空或超高真空。隔膜泵、吸附泵和钛泵都属于无油类型泵,不存在油蒸气的沾污问题,它们串级使用可获得优于10-6Pa的超高真空。分子泵是靠内圆筒高速机械运动使气体作定向流动,一般须与前级泵组合来获得高真空。低温泵是目前抽速最大、能达到极高真空的真空泵。

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