随着真空泵结垢的开始，循环水在泵内的热传递环境逐渐被破坏，热交换效率将越来越低，结垢速度会越来越快。水垢成因大致包括以下几个方面:
(1)受热分解。
含有硬度成分的循环水进入真空泵后，随泵的旋转在泵体内形成水环做功发热，使溶解在水中的重碳酸盐逐渐分解，析出难于水的沉淀结成水垢。
(2)溶解度降低。
负溶解度温度系数的SO4、CaSiO3、CaCO3等盐类，随着循环水水温的增高溶解度降低析出沉淀结为水垢。
(3)相互反应。
循环水中原来溶解度较大的盐类，在真空泵运行过程中，和其它盐类相互反应生成难溶物质形成沉淀结成水垢。
(4)蒸发和浓缩。
由于循环水不断做功发热，不可避免地要产生蒸发和浓缩，使水中溶解盐的浓度不断增大，达到饱和时析出沉淀形成水垢。
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