(1)真空泵严禁无油工作。每夭应至少检查一次油位,当油位低于最高油位标记时，须补加循环油到最高油位(max)。
(2)油牌号选择。一般环境沮度为12~30℃之间，油的正常运转温度为75℃，宜选用VM100，BP Energol CS100，Shell Talpa G100等黏数为100的真空泵油。
(3)检查油质状况。每天检查一次油质状况，当油质恶化后应及时更换循环油。因工作条件不同，换油周期不等，一般首次为100h换油，之后500~2000h之间进行更换，最多换油周期不要超过半年。
(4)检查排气过滤器。在维护装置的加油口上，装有一个压力表，用于测量排气过滤器的压力，当压力>0.06MPa时需更换排气过滤器;一般每月检查一次，每年更换一次;
(5)注意观察排气口处油雾。工作过程中，当有油雾从排气口处排出时，应检查回油管是否堵塞，油分滤芯是否破损，或该处密封垫是否需要更换，密封垫一般随滤芯的更换而更换。
(6)定期清理工作。空气碟阀处的空气滤芯需定期用压缩空气清理干净，以防粉尘进入真空泵，检杏滤芯密封与缸体之间是否有效。定期清理上料器内的锥体粉尘滤芯，空气滤芯以及入口法兰处的真空泵滤网等。清理后一定注意装好各处的密封圈，尤其是滤芯固定盖上的密封和上料器内部的粉尘滤芯，操作工必须定期清理，及时更换，确保原料的第一层过滤有效，否则，将有大量粉尘进入真空泵，后果极为严重。
