选择的真空泵工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求;每种泵都有一定的工作压强范围，泵的工作点应该选在这个范围之内工作;检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。要对气体的特性进行分析，如对腐蚀性，凝聚性等。因为如果被抽气体种类与泵内液体发生反应，泵系统将被污染。同时必须考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体足。

真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量;确定系统真空容积。检查确定达到要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到要求真空度后在一定工艺要求条件下维持真空需要的抽气速率;正确地组合真空泵，确定主泵与前级泵合适的级比;在设计真空管道时，应尽可能采用短而粗的管线，一般管径不小于真空泵的入口。

在真空系统的设计中.应提高系统的密封性，降低系统的泄漏率.要选择合适的密封材料;液环真空泵的实际抽气体积流量与工作液体有关。工作液越高，蒸汽分压力越高，工作液对真空

泵进口蒸汽的冷凝效果越差，真空泵的抽气体积流量越小。建议选择饱和蒸气压较低的工作液.同时需控制工作液的温度;对于抽除高凝固点物质的气体，如丙三醇，八甲基环四硅氧烷和六甲基三硅氧烷等气体，为避免这类气体进入罗茨泵凝结沉积下来，需提高罗茨泵的温度，如通入加热的氮气来提高泵温;真空系统设计中要采用新技术，做到自动控制和联锁保护。