真空泵的分类让很多外行人员摸不清楚,上海飞鲁真空泵厂技术人员将完整的真空度分类整理如下,希望对大家有所帮助。真空泵按照工作原理可分为两大类:
一、气体输送泵
1、变容泵
①往复式真空泵—主要包括隔膜真空泵、活塞往复真空泵
②旋转泵
a、油封泵—旋片式真空泵、定片真空泵、滑阀真空泵
b、无油泵—往复式真空泵、多级罗茨真空泵、爪式真空泵、涡旋真空泵、螺杆真空泵
c、液环真空泵—水环式真空泵、油环真空泵
d、罗茨真空泵—普通罗茨真空泵、气体循环冷却罗茨真空泵
2、动量传输泵
a、分子泵—涡旋分子泵、牵引分子泵、复合分子泵
b、喷射泵—水喷射真空泵、气体喷射泵、水蒸气喷射泵
c、扩散泵—油扩散泵、油扩散增压泵
二、气体捕集泵
分子筛吸附泵、吸气剂泵、钛升华泵、溅射离子泵、低温泵、冷凝泵
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