油封式真空泵即旋片式真空泵，一般为真空机组的前级真空泵。这种泵是在60~100℃范围内把各种不同的混合气体压缩到大气压并排放到排气管中。如果泵内危害性产物的压力、浓度、温度都比较高，这些物质在泵及泵的附件内积存起来这些物质在排气管道内同周围空气相接触等等，都会构成潜在的危险。

半导体制造使用或产生的有害气体，必须采取合适的测量方法，以防止着火和爆炸，保证设备的正常运行，防止操作人员、维修人员及服务人员发生急性或慢性中毒。为了安全起见，应配备抽力足够大的合适真空泵和附件，并要求采用合理的操作和维护方法，配备适当的监控装置。

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