前级泵和后级泵有些差别，后级泵的泵腔比前级泵大，这是因为泵的抽速主要决定于后级泵的有效几何容积。另外，前级泵和单级旋片泵一样，随时有油进入泵腔;而后级泵仅在开始工作时有少量的油，工作一段时问后，便没有油进入泵腔了，这是因为后级没有专门的油路。这样做并不会影响后级泵的性能，因为抽气时间一长，后级泵进气口的压强大大下降，而它的出口压强也很小，进出口的压强差不大，被压缩气体级缝隙返流的量很少，同时，在真空度较高的情况下，缝隙的流阻较大，虽然没有油密封，但返流的气体量也很少。相反，有如下好处:可以避免泵油把气体和蒸气带进后级进气口，从而大大地降低了残余气体的分压强；同时，由于后级泵中油的轻馏分不断地被前级泵抽走，残余的油蒸气分压强也降低了，这就使泵的极限真空得到了提高。气分压强也降低了，这代使泵的极限真空得到了提高。
