低真空机组的主要特点是工作压力高、排气量大，但抽速比高真空机组低。多用于真空室的粗抽以及放气量很大、工作压力又高的真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥、真空脱气(钢水处理)等装置中。
低真空抽气机组的主泵常用往复式真空泵、油封式机械泵、干式机械泵、水喷射泵、水蒸气喷射泵、水环泵，分子筛吸附泵、湿式罗茨泵等直排大气真空泵.使用低真空抽气机组，还需要根据被抽气体清沽程度、湿度或其他特殊要求，配里必要的除尘器、水气分离器、油水分离器、干澡阱等部件。
(1)油封机械泵机组抽除可凝性气体的措施。
油封机械泵不适于抽除含有大量水蒸气的气体.水蒸气在压缩过程中会凝结成水滴，并与泵油混合形成悬浮液，破坏泵的抽气性能，使泵的真空度下降。一般采取的措施有:使用带有气镇装皿的油封机械泵，并使泵的工作温度控制在75-90℃之间，以减少气镇阀负担;在机组中安装水汽分离器或油水分离装捉，将混有水的机械泵油进行处理，处理过的油再进人泵中使用;使用各种干燥吸附剂做成捕集阱吸收水蒸气。使用各种冷凝器或冷阱，不仅能有效地吸附水蒸气，同时还可阻挡机械泵向真空室的返流。
(2)常用机组形式。
油封机械泵低真空机组.适用于化学气相沉积装置、真空包装、医药工业等领域。
有挡油阱的低真空机组。双级水环泵和大气喷射泵申联组成的机组极限压力1300Pa。工作时，先开动水环泵，以获得大气喷射泵所需的预压力，使大气喷射泵的进气口与出气口之间有压力差，大气便通过喷射进人泵内形成高速运动气流.将被抽气体吸人，经扩压器被水环泵排走。
该机组适用于真空蒸发、真空浓缩、真空浸演、真空干煤、真空冷冻等工艺过程。
