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无油真空系统的构件结构



近年来,发现用机械真空泵和扩散泵抽气的真空系统,由于它有微足的油蒸汽返流入被抽容器或器件中,使许多电子器件的性能和技术指标受到严重影响。例如,电子管的氧化物阴极,因油蒸汽而降低其发射性能和寿命,各种大功率高电压电子管,因油蒸汽的存在而容易电击穿;广播电台用的耐高压真空电容,因泊蒸汽的存在而显著降低其耐压指标,油蒸汽在许多地方,产生显著的不利影响。因此,用于这些方面的真空系统,要求改用无油真空系统来代替,即不使用用真空油密封和用真空油作工作液的抽气工具(如机械泵、扩散泵),而采用靠对气体分子吸附作用,降低容器内压强的吸附泵和钦泵来获得所需的真空。
吸附泵是利用某些固体物质的多孔性表面,在冷状态下对气体的强烈吸附作用,而使封闭系统获得10-2毫米水银柱的低真空的,它是用作无油系统的前级。

吸附泵所用的吸附物质,一般除可用活性碳外,大多使用分子筛(人造沸石)来吸附气体,获得真空。因为,当用液氮冷却后,每一公斤的分子筛,能把50-100升的容器从大气抽成10-2毫米水银柱的真空,所以,它是一种吸气泛很大的泵,而它在经过400℃左右的烘烤后,其所吸的气体就又重新放出(叫做活化或再生),恢复再吸气的能力。目前常用的5A分子筛(吸收容量大,适合排空气,但需经常“活化,,其平均孔径约为5埃)和13X分子筛(其吸附容且虽比5A分子筛小,但能吸收油蒸汽分子)。

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