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电子工业应用中的真空阀门



阀门在真空装置中,是为了分隔系统的各部分用的。按其工作特性,可分为预真空阀和高真空阀,两者主要区别在于其出入口直径尺寸和真空密封结构。前者的出入口直径,一般在15-20毫米左右,多用真空橡皮垫圈密封,用于预真空部分,而后者的口径为65、100、150、180毫米或更大些,密封多用金属垫(特别是用于超高真空部分的阀门),只有极限真空低于10-6托时,用橡皮密封才较多。它们在使用材料上,均广泛应用黄铜、钢、不锈钢等金属,由于铸造具有多孔性,故真空阀门都不用铸件。

对于阀杆与盖或与阀体的密封主要形式,不外乎橡皮的、金属皱纹管的两种,薄膜的(指在阀中用被青铜或镍皮制成的,厚度为0.1-0.15毫米的皱纹薄膜密封,一般其往复行程为2-4毫米)用得较少。

在阀门孔处的密封(指关闭阀的密封),一般是用真空橡皮。用锥形阀盘(由软质材料银、镍或黄铜制成)与圆往形阀座(用淬火钢)的线状紧密贴合密封,由于它的耐久性不好(如阀盘对阀座略为偏斜,密封表面加工有缺陷,以及过份压紧阀盘而挤压阀座,都会使阀门不再严密而需修理).只用于超高真空中。而油密封及液态金属密封,除某些真空度要求高而导管尺寸不太大的系统外,应用也不多。

在设计真空阀时,应充分注意到它的工作特性,合理设计结构和提出技术条件.满足以下几点主要要求:

l)阀的任何地方都不应漏气。

2)阀的连接部分和阀门处在关闭时的密封,应保证真空严密性和可靠性。密封零件最好可以更换。

3)阀的出入口及阀腔,应尽可能是直的,使气流少转弯,并在阀开启时,有足够大的空间供气流通过,有良好的通导能力。

4)阀的开关操作应轻快方便,极位(开、关、放气……)操作顺序和转动方向应加标志并定位。

5)阀的全部金属零件(特别是内表面)应都是抗腐蚀的,蒸汽压低的,表面光洁的。

6)阀的结构应简单和便于制造,注意焊缝应减少到最低限度。少用或避免用特殊加工及自己工厂条件难以加工的结构(如真空焊接)。

常见的真空阀的典型结构原理。它们的操纵动力,包括手动、气动和电动等。
真空阀的结构形式,丰要分为单阀(包括二通和三通。直通和F形,T形)和组合阀(多通)两种。其中特别是高真空阀和组合阀,在阀体上往往还要连接真空测盆接头或其他接头(如引电入真空的电接线柱)。

随着我国电子工业的发展,真空装置为满足新的生产工艺,复杂的真空系统使用着许多阀门来控制,为了使系统导管长度缩短,提高通导能力,简化系统结构,并便于操作和制造,目前已逐渐向组合阀迈进,用一个阀来代替若干个阀的工作,并集中控制。用于真空机组上的组合阀(又叫多挡阀)结构,在这个阀上,集中了顶真空、高真空、充、放气等阀,并根据操作需要,可方便地用三个手柄,控制预真空泵、高真空泵、储气桶(气雄)、充气瓶(或管道)与容器(指真空室)的通路的接通或断开,使它们各自单独与容器接通,或串联工作,或完全隔离,从而有利于不同的工艺操作。工作容器可以安装在阀体上部,也可以安装在侧面。

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