扩散泵的结构原理如图1,底部为蒸发器，内贮有扩散泵油。上部为进气口，右侧旁管为出气口，在工作时出气口处由机械泵提供前置真空。当油被电炉加热时，产生的油蒸汽沿着导
流管经伞形喷嘴向下喷出。因喷嘴外面有机械泵提供的真空(10-2~10-3托)，故油蒸汽流可喷出一长段距离，钩成一个向出气口方向运动的射流。射流最后碰上有冷却水冷却的器壁时，授结为液休，流回蒸发器，重新使用。
由进气口进入泵内的气体分子，一旦落入蒸汽流中，便获得向下运动的动最，往下飞去。由于射流具有高的速度(约每秒200米)、高的蒸汽密度(蒸汽压几至几十托)，且扩散泵油具有高的分子量(350-500)，故能有效地带走气体分子，因此在射流的界面内，气体分子不可能长期停留，其浓度很小。换言之，在射流界面的两边，被抽气体有很大的浓度差。正是这个浓度差，使被抽气体能源源不断地越过界面，扩散入射流中并被带往出口处。在那里，它们被机械泵带走。
