真空系统获得真空的过程称为抽真空,也叫做抽气或排气。在规定的气压下单位时间抽出的气体体积称为抽气速率，即抽速.也可以叫做泵速，单位是L/S.泵或某一真空系统在排气足够长的时问后所能达到的最低气压称为极限真空度.
稀油金属冶金要求高真空条件.因此常使用机械泵和扩散泵配置成的高真空机组成套设备.用机械泵和增压泵串联可抽真空至10-6Pa.欲进一步提高真空度，还可在工作系统中放针吸附剂或安装冷阱，将泵没有抽走的气体吸附或冷凝下来.有时还增设一级机械增压泵与机组串联或并联，以提高一定真空范围内的抽气能力。
在高真空机组中.机械泵能使气压从一个大气压开始变小，称为前级泵;扩散泵只能从较低的气压抽到更低的气压.称为次级泵。次级泵开始工作的气压称之为预备真空或前级真空。每种真空泵的最佳抽速均与一定的入口压强相对应.因此.必须合理配俊真空机组，才能获得最佳的真空效益.而一个不合理的的配置不仅会造成浪费，也导致其空系统的真空度达不到预期要求。
真空机组的合理配置应解决好如下几个主要问题:
1)根据真空设备产生的气体量、工作压强、极限其空度及抽气时间等要求，选择主泵的类型.确定管路及选配真空元件;
2)选配好主泵后，计算真空设备的抽气时间及达到的压强;
3)了解真空泵的荃本参数与导管的通过能力的关系等.
