真空机组由各种真空元件组合而成，它是不带真空室的排气系统。真空机组均以主泵命名。目前国产真空机组主要有油扩散泵机组、油增压泵机组和罗茨泵机组。
低真空抽气机组的主泵常用往复式真空泵、油封真空泵、水蒸气喷射泵、水环泵、分子筛吸附泵、油蒸汽喷射泵、罗茨泵等。低真空抽气机组的主要特点是工作压力高、排气盆大，但抽速比较低。多用于真空室的粗抽，以及放气量很大、工作压力又高的真空输送、真空浸渍、真空过滤、真空干燥、真空脱气等装置中。使用低真空抽气机组，还需要根据被抽气体清洁程度、湿度或其他特殊要求，配及必要的除尘器、干燥越等部件。
中真空油增压泵机组用以获得1~10-1Pa的工作压强.其极限真空度为10-2Pa。它由油增压泵、真空阀门、捕集器、低真空截止阀、放气阀、管道以及电气控制盘、水压继电器等元件组成。
中真空罗茨泵机组的工作真空度为1~103Pa.其极限真空度为10-1Pa。其他元件与油增压泵机组相同。
高真空抽气机组工作真空度为10-2~10-3Pa,其极限真空度为10-4Pa。机组的主泵通常为油扩散泵、扩散增压泵、分子泵、钛泵、低温冷凝泵等。这些泵不能直接对大气工作，需要配里预抽泵或前级维持泵。有些扩散泵高真空抽气机组还配有前级贮气罐，以防止气压波动，改善机组性能。
超高真空抽气机组工作在10-6~10-8Pa。除了要求真空室的材料出气率很低、漏气率很小、能经受200-450℃的高温烘烤外，对机组的要求还有:主泵的极限真空要高，至少在10-7~10-8Pa以上。在超高真空的工作压力范围内主泵具有一定的抽速。来自主泵的返流气体的分压力要足够低;对被抽气体选择性强的主泵要配备足够大的辅助泵;机组主泵进气口以上的管道、阀门等部件材料的选择和密封要特别慎重.一般采用出气率较低的不锈钢和采用金属密封圈。
