材料的放气率、渗透率和饱和蒸气压决定了材料的超高真空性能。
超高真空所需要的材料，除了应满足真空材料一般要求外，还应满足下列要求。
(1)在烘烤温度下，材料不应该丧失其机械性能;壳体材料能承受外部大气压力。一般低熔点金属和软玻璃满足不了这种要求。
(2)材料在烘烤温度下蒸气压要低。
(3)材料的渗透气体量不能超过允许值。
(4)材料加热时不易变形。
(5)材料表面容易抛光。
从这些要求出发，适于超高真空中使用的通用材料有:无磁不锈钢、高纯铝、无氧铜、金和硼硅酸玻璃、高铝玻璃、氧化铝陶瓷等。普通碳钢因烘烤时会大量渗氢和易锈蚀而不适于做超高真空的结构材料。
