往复式真空泵所吸入的气体压强远远低于绝对大气压，因此须在压缩比很大的情况下操作.
余隙中残留气体的影响很大，通常认为往复式真空泵的余隙必须<3%。为减少余隙气体的影响，真空泵在结构上做了专门处理。即在真空泵壁上设置了平衡通道.当活塞排气过程刚完成时，便能连通平衡通道。使余隙中部分气体流至活塞另一侧，降低余隙气体的压力.提高生产能力。
另外，真空泵的吸气阀、排气阀与往复式压缩机相比.由于气缸内外压差小，要求启闭的阻力更小，所以采用与活塞运动配合严密的滑块机构，这样可以提高泵的效率.
往复式真空泵的真空度越高，则吸气压强的绝对气压就越小.因而在一定容积的气缸中能吸入的气量就越少，所以当吸气量增大时，真空度必然下降。为了保持一定的真空度使生产不受影响，要求真空管道系统不漏气，设备不泄漏。
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