（1）气流
真空系统用真空泵抽气，气体经管道流到泵里。抽气不断进行，系统中的压强由高而低，气体分子的自由程由小而大。由以分子间碰撞为主逐渐改变为以分子与器壁碰撞为主。在此过程中气流性质出现阶段性的转变。成黏滞流(湍流、层流)，黏滞-分子流(又称过渡流)和分子流，不同性质的气流流过真空系统的阻力各异.
（2）层流
气体分子间的碰撞数多于与容器壁的碰撞数，内摩擦力起主要作用，气体的黏度影响着流速，气体的流线呈直线，层流管壁附件的气体几乎不动，管道中心的流速最大。
（3）分子流
气体分子的内摩擦力已不存在，这时气体分子独立而自由地通过管道的气体量与管道两端的压差成正比。
(4)黏滞-分子流
界于黏滞流与分子流之间的气流，除发生气体内摩擦之外还有个别分子独立的(无碰撞的)热运动的气流。
