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真空度的测量工具分类

真空泵中所用的真空计可分为两大类:一类是能直接测出系统压力的绝对真空规,如麦克劳(Mcleod )真空规;另一类是经绝对真空规标定后使用的相对真空规,热偶真空规与电离真空规是最常用的相对真空规。凡能从其本身测得的物理量(如液柱高度、工作液、比重等)直接计算出气体压力的称绝对真空计,这种真空计测量精度较高,主要用作基准量具。相对真空计主要利用气体在低压力下的某些物理特性(如热传导、电离、黏滞性和应变等)与压力的关系间接测量,其测量精度较低,而且测量结果还与被测气体种类和成分有关。因此相对真空计必须用绝对真空计标定和校准后方能用作真空测量。但它能直接读出被测压力,使用方便,在实际应用中占绝大多数。真空技术需要测量的压力范围为105~10-11Pa,甚至更小,宽达16个数量级以上,尚无一种真空计能适用于从粗真空、低真空、高真空、超高真空到极高真空的全范围测量,因而需要有多种真空计进行组合测量。最常用的如下:

(1) U形管真空计。U形管真空计用以测量粗真空和低真空的绝对真空计。在U形的玻璃管中充以工作液(低蒸气压的油、汞).管的一端被抽成真空(或直接通大气),另一端接被测真空系统。    

(2)压缩式真空计。压缩式真空计又称麦克劳真空规或麦氏真空规,是一种测量低真空和高真空的绝对真空计。这种真空计一般用硬质玻璃制成,测量精度较高。

(3)电阻真空计。电阻真空计又称皮喇尼真空计,是一种测量低真空的相对真空计,主要由电阻式规管和测量线路两部分组成。

(4)热阴极电离真空计。热阴极电离真空计通称电离真空计,主要用于高真空测量。它是由圆筒式热阴极电离规管和测量线路两部分组成。

(5)冷阴极电离真空计。冷阴极电离真空计是一种测量高真空的相对真空计,它由电离规管和测量线路两部分组成。

(6)热偶真空规(又称热偶规)。由加热丝和热电偶组成,其顶部与真空系统相连。

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