国内真空技术的现状及发展前景

随着国内真空技术应用领域的不断广泛普及，各种真空获得设备的发展非常迅速。目前我国生产的各种真空泵型号、规格、性能参数基本上能满足我国真空应用发展的基本需要，特别是老产品都在不断改进，新产品不断开发，取得了显著的成绩，而且满足了各行业不同的工艺需求。

表1列出了我国真空获得产品生产概况。

从上述情况可以看出，我国生产的真空获得产品，极大多数是属于传统的真空获得设备。高真空泵是以油扩散泵为主，中低真空泵仍然以水环式真空泵、旋片式真空泵、滑阀真空泵、罗茨真空泵为主。

我国真空技术的应用90%左右都是集中在传统的工业领域，如真空干燥、真空冶金、真空热处理、真空吸附、真空镀膜、真空浸渍干燥、真空蒸馏、浓缩以及真空排气、真空包装、制冷等行业。

近年来，国外的真空技术应用已从传统的工业领域转向半导体、平板显示(LCD,PDP,OLED)、太阳能光伏电池、化学工业、生物制药等高端产业领域，真空系统已经出现更新换代的局面，有油的真空系统已被清洁无油、耐腐蚀的真空系统所代替。所以国外各种类型的干式真空泵、复合分子泵、磁悬浮轴承分子泵和低温泵发展很快，市场上均有商品出售。而国内，这一类产品基本上处于空白，无法适应时代发展的需要。