此工艺中应用最广泛的就是罗茨水环真空机组,这种罗茨水环真空机组在化工行业应用十分普遍,可用于抽除腐蚀性气体和有机溶剂。
但当抽除腐蚀性气体时,罗茨真空泵的泵体和转子以及水环式真空泵的泵体和叶轮都必须用316L不锈钢制成,或采用化学表面处理技术在接触工艺气体部位涂上一层美多斯(NEDOX)。这种涂层的特点是耐磨性好、不粘、不剥落,经过热处理后表硬度可达HV750~1000,涂层厚度为10~15μm。当这种罗茨水环真空机组需要抽除有机溶剂时,水环式真空泵的工作液必须与被抽溶剂相兼容,机械密封需采用四氟机封,并采用工作液闭式循环系统。