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旋片式真空泵的改进



旋片式真空泵的变形型式很多,把很多单个旋片式真空泵组合在一起,可做成多室旋片式真空泵,把旋片式真空泵与其他泵组合在一起可形成组合泵或泵组(如机械泵-扩散泵抽气机组)。侧偏心泵是将旋片式真空泵结构加以改进,从而提高了原设计型式的性能。它也可用于多位同时排气的装置上。它的使用范围与其他旋片式真空泵相同。    

一、多室旋片式真空菜

一般电子管等电真空器件排气时多使用圆排气车,其中机械泵多用十室泵,即多室旋片式真空泵,以进行多位独立抽气。

1.多室旋片式真空泵的工作原理

多室旋片式真空泵与单级或双级旋片式真空泵的工作原理是一样的。不同点在于:它是在一个共同基体内装有由同一电机拖动的若干个独立工作室(单级旋片式真空泵),每一个独立工作室在整个抽气过程中能互不干扰地直接对一个容器进行抽气。所以称它为多室旋片式真空泵。

2.多室旋片式真空泵的构造

它是由箱体和浸在箱体内各个独立工作室两个主要部分所组成。这些独立工作室就是一个单级旋片式真空泵,它是由泵体(工作室腔)、转子、旋片、弹簧、过滤器(网)、排气阀等主要部件所组成。这些独立工作室串联成泵组,并用螺钉紧固于箱体内的机座上。

二、侧偏心式旋片式真空泵

前面已多处提及旋片式真空泵中的侧偏心式泵,因它是南光机器厂设计制造的一种较新型旋片式真空泵。它的优点在于综合技术指标比较高,在某些方面,如比功率、比重量、喷油、耗油量等超

过了同类产品,且超过了一些资本主义国家的同类产品。

三、旋片式真空泵的改进趋势

旋片式真空泵与其他类型的机械泵比虽有很多优点,但缺点也不少,特别是距生产实践要求还相差很远。例如在耐腐蚀、耐磨、体积小、重量轻、噪音低、振动小,自动防止油的返流、去除油蒸气返流等等方面,均需努力。为适应仪器发展需要18升/秒以下的小旋片式真空泵已向小型化仪器化发展了。    

老式的机械泵,在抽气时,随着真空度的提高,抽速均下降很多。近年来,由于降低了油蒸气的返流,同时采用了一些新技术(如在旋片式真空泵中采用三旋片的结构等),因而使泵的抽速曲线(水平线)几乎延伸到1x10-3托。

在清洁真空研究方面,为了避免油蒸气的返流,有人提出旋片式真空泵的高真空级密封采用固体润滑材料(干级),而以一般的油封旋片式真空泵作前级(油封级)的两级泵。    

当然,更彻底的解决油蒸气返流还是设法研制无油机械真空泵。国内外已研究了多年,研制出了不少种类型。但能从大气开始抽气、且能连续工作而与现有油封机械泵性能相似的泵,仍在研制中,无正式产品。相信,随着真空技术的进步,性能好的、能适应多种作业要求的旋片式真空泵定将出现。

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